产品介绍
描述
MEEPLIBS可以在微米尺度上做空间分辨的元素分析，实现了与传统的显微镜实现完美结合，标准分析口径大小为15 微米和18微米（可小可做到4微米），可在室温大气环境中测试，也可在特定的环境中测试。广泛应用于半导体材料、面板材料的微米尺度空间分辨率的实时元素分析。
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系统特点
LIBS分析与目视检测显微镜的相结合
266nm紫外激光光源 20Hz
分析口径：15µm 或8µm ( 可小可到4µm)
具有配置衰减器的激光光束整形功能
系统中配置摄像机
配置自动三维调节台可用来校准激光
聚焦和对样品进行序列测量
技术参数
激光器类型 脉冲Nd:YAG
波长 266nm
频率 20Hz
激发光能量稳定性 ± 5% RMS up to 1mJ (on 100 shots)
波长范围 180to950 nm（取决于所选的光谱仪）
探测器类型 ICCD
激光器出射光直径 15µm or 8µm
探测极限 ppm—几千ppm（取决于所测试元素种类）
数据获取时间 <1%
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